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膜基组件的微硬度量测与膜体力学参数的顺序辨识
本文采用量纲分析得到膜基组件微硬度量测的若干标度律,并在分阶段辨识模型下应用轴对称弹塑性有限元计算对膜体的力学参数(弹性模......
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膜基组件
微硬度
弹塑性有限元法
力学参数辨识
Film-Substrate Structures
Micro-Indentation
Elastic-Pa
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